8インチ・12インチウェハなど様々なサイズのサンプルに対応し、DCからRFまで幅広いアプリケーションに利用できます。
多サイズウェハの自動XYZ軸移動に対応し、高精度アライメントを実現。量産向けウェハDC/RFテストに最適で、テスト効率と一致性を向上します。