プローブステーション

手動プローブステーション

8インチ・12インチウェハなど様々なサイズのサンプルに対応し、DCからRFまで幅広いアプリケーションに利用できます。

半自動プローブステーション

8インチ・12インチウェハの自動搬送と高精度アライメントに対応し、量産向けウェハDC/RFテストに最適です。