高周波技術 — あらゆるものをより速くつなぐ

現在、5G-A（5G-Advanced）は本格商用の黄金期にあり、5Gと6Gをつなぐ重要な過渡期に位置します。6Gについては標準化が正式に始まりました。6Gの発展に大きな影響を与える技術方向としては、端末側でのAI活用の拡大、そして空天地一体化（宇宙・航空・地上の統合）とコンピューティングの融合が挙げられます。

プローブステーションによるRFテストは、5G/6Gチップの研究開発と量産を支える中核です。精密機構、高周波信号チェーン、スマート校正技術を統合することで、高周波領域の表皮効果、インピーダンス不整合、寄生干渉などの課題を克服し、Sパラメータ、電力、位相等の重要なRF特性を取得します。プローブはRFベアチップを直接テストできるため、テスト精度と効率を高めるだけでなく、設計初期段階での問題発見を可能にし、市場投入までの期間を短縮します。

ミリ波は5G NR FR2帯の中核を成す技術です。3GPPが定義する5Gミリ波チャネルは最大400 MHzのチャネル帯域幅を提供し、マルチギガビット毎秒のデータレートを実現します。また、ミリ波技術は低軌道（LEO）衛星通信や通信感知一体化（JCAS）などにも応用されています。

大規模アンテナアレイは、現代の無線通信・センシングシステムの中核となっています。特にミリ波・テラヘルツ帯では、数百から数千もの放射素子が高いビームフォーミング利得と空間多重を実現します。RF GSGプローブはミリ波チップテストの標準ツールであり、RF IC、MMIC（モノリシックマイクロ波集積回路）、ミリ波レーダーなどの高周波電気特性評価に使用されます。

テラヘルツ波は0.1 THz～10 THzの周波数帯で、マイクロ波と赤外線の間に位置します。超広帯域と低光子エネルギーを併せ持ち、強い透過力、低エネルギー放射、高分解能という特性を備えています。

多くの院士・専門家は、中国のテラヘルツ技術が複数の重要ブレークスルーを達成し、6G通信、低空経済、ハイエンド製造といった未来産業の加速装置になると指摘しています。テラヘルツは5Gの100倍以上の超高速伝送能力により、6G通信や空天地一体化のシナリオにおいて、ホログラフィック通信、8K/16K超高精細のリアルタイム対話、衛星と地上の高速相互接続を支えることができます。

テラヘルツ帯ではチップの微細化が進み、電気プローブテストが主流となっています。プローブは同軸パッケージングによる誤差を回避し、ウェハ上での自動測定を可能にします。