半自动探针台
支持多尺寸晶圆自动XYZ轴位移，实现高精度对准，适合批量晶圆级直流与射频测试，提升测试效率与一致性。
- 晶圆尺寸支持6至12英寸晶圆及可定制工装适配非标产品
- 对准精度优于 1μm
产品概述
半自动探针台集成了自动位移功能，可以根据用户的测试程序进行自动探针的位移、测试和调焦，大幅减少人工操作，提升批量晶圆级直流与射频测试的效率与一致性。
适用于量产测试、工艺监控与晶圆级验证等场景，可灵活配置直流/射频探针与测试系统，并支持扩展高低温、真空等测试选项，为产线与实验室提供高效可靠的测试解决方案。
主要特征
自动位移
自动XYZ轴位移，支持多种晶圆自动测试。
高精度对准
自动对准精度优于 1μm，定位准确。
批量测试
适合批量晶圆级直流与射频测试。
效率提升
减少人工操作，显著提升测试效率与一致性。
兼容性强
可灵活配置直流/射频探针与测试系统。
模块化设计
支持扩展高低温、真空等测试选项。