半自動プローブステーション
多サイズウェハの自動XYZ軸移動に対応し、高精度アライメントを実現。量産向けウェハDC/RFテストに最適で、テスト効率と一致性を向上します。
- ウェハサイズ6～12インチウェハに対応、非標準品向けのカスタム治具もご用意
- アライメント精度1μm 未満
製品概要
半自動プローブステーションは自動移動機能を備え、ユーザーのテストプログラムに従ってプローブの移動・テスト・フォーカス調整を自動で行うことができ、手作業を大幅に削減します。量産向けウェハレベルDC/RFテストの効率と再現性を向上します。
量産テスト、プロセスモニタリング、ウェハレベル検証などの用途に適しており、DC/RFプローブやテストシステムを柔軟に構成できます。高温・低温、真空などのテストオプションにも拡張可能で、生産ラインやラボに高効率で信頼性の高いテストソリューションを提供します。
主要特徴
自動移動
XYZ軸の自動移動に対応し、多様なサイズのウェハの自動テストをサポートします。
高精度アライメント
自動アライメント精度は1μm未満で、正確な位置決めを実現します。
バッチテスト
量産向けウェハレベルDC/RFテストに最適です。
効率向上
手作業を削減し、テスト効率と再現性を大幅に向上させます。
高い互換性
DC/RFプローブやテストシステムを柔軟に構成できます。
モジュール設計
高温・低温、真空などのテストオプションに対応します。