手動プローブステーション
機能が充実し互換性の高いMPNシリーズプローブステーションは様々なサイズのサンプルテストに対応できます、特に大型サンプルをはじめとする、例えば、8インチ・12インチウェハなど。DCやRFなど多様なアプリケーションにも対応しています。
- 移動範囲X/Y ストローク約150mm（6インチ）、精度1μm未満
- サンプルサイズ6～12インチのサンプルに対応
製品概要
MPNシリーズ導波路プローブステーションは、ミリ波・テラヘルツ帯のウェハレベルテスト向けに設計された高精度手動プローブステーションシステムです。安定した構造と直感的な操作性を備え、5G/6G通信チップ、RF MMIC、レーダーモジュール、先端パッケージングなどの分野における高周波差動テストやマルチポート校正に広く使用されています。
本システムは高剛性構造設計を採用し、エアベアリング／精密送りねじ式の位置決めステージ（精度1μm未満）と大ストロークステージ（6～12インチのサンプルに対応）を組み合わせることで、110GHz以上のSパラメータテスト要件を安定して支えます。モジュール式のプローブホルダプラットフォームは各種RF（同軸・導波路）およびDCプローブに対応し、高温・低温テストシステムへのアップグレードも可能で、研究・量産テストに柔軟で信頼性の高いソリューションを提供します。
主要特徴
大型ステージ
6～12インチのサンプルに対応し、大型ウェハのテストニーズを満たします。
高精度位置決め
X/Y軸はエアベアリング移動、粗調ストローク6インチ、微調精度1μm未満、Z軸ストローク13mm。
プロ用顕微鏡システム
プロ用顕微鏡を搭載し、直感的な操作と正確なアライメントを実現します。
モジュール式プローブホルダプラットフォーム
各種RF（同軸・導波路）およびDCプローブに対応し、多様なテストアプリケーションをサポートします。
高温・低温拡張
オプションで高温・低温テストシステムを追加でき、より多くのアプリケーションに対応します。
耐振動・安定性
高剛性構造設計により、安定で信頼性の高い測定を実現します。